1、按照PLC程序(xu)抽低(di)真空(kong)：緊閉所有(you)的真空(kong)閥(fa)(fa)門，啟動機械(xie)泵，待其運行正常后（大約1-2 min），打開(kai)通向(xiang)爐(lu)體(ti)的低(di)真空(kong)閥(fa)(fa)即上碟閥(fa)(fa)，預先對爐(lu)體(ti)抽低(di)真空(kong)；

 2、按照PLC程序(xu)抽高真空(kong)：打開下(xia)碟(die)閥，對(dui)(dui)擴散泵進行(xing)(xing)抽氣，當真空(kong)度達(da)到15 Pa以(yi)下(xia)后，系統(tong)自動開啟擴散泵進行(xing)(xing)預熱，一般經(jing)過45 min左(zuo)右(you)擴散泵開始其作用，就可以(yi)關閉上碟(die)閥，同(tong)時開啟主阻擋閥待真空(kong)度達(da)到1.33×10Pa以(yi)上，才(cai)可以(yi)開啟加熱按鈕(niu)對(dui)(dui)樣(yang)品(pin)進行(xing)(xing)加熱。  

 珠海真(zhen)空(kong)熱(re)處理真(zhen)空(kong)爐保(bao)養(yang)可(ke)指導設備(bei)(bei)操(cao)(cao)作員(yuan)在職責范(fan)圍內對設備(bei)(bei)各(ge)點(dian)檢(jian)部位,用(yong)正確的(de)檢(jian)驗方法和工具依(yi)據點(dian)檢(jian)周期進行設備(bei)(bei)的(de)日常(chang)保(bao)養(yang)；操(cao)(cao)作員(yuan)需(xu)每日依(yi)據此保(bao)養(yang)說明書(shu)認真(zhen)填寫《珠海真(zhen)空(kong)熱(re)處理設備(bei)(bei)日常(chang)維護保(bao)養(yang)記錄》，并由(you)班組長(chang)檢(jian)查復核(he)，維修員(yuan)收集(ji)存檔。全套設備(bei)(bei)按(an)技(ji)術要求(qiu)安(an)裝完畢后，無缺件并有良好的(de)接地時，即(ji)可(ke)按(an)下列項目進行調試與驗收。