在從石器時代進展到銅器時代和鐵器時代的過程中，真空熱處理的(de)(de)作用逐(zhu)漸為人們(men)所認識。中(zhong)國人在生產實(shi)踐中(zhong)就(jiu)已發現，銅(tong)鐵(tie)的(de)(de)性能(neng)會因溫度(du)和加(jia)壓(ya)變形的(de)(de)影響而變化。白(bai)口鑄(zhu)鐵(tie)的(de)(de)柔(rou)化處理就(jiu)是制造(zao)農具(ju)的(de)(de)重要(yao)工(gong)藝。

     隨(sui)著淬(cui)(cui)火(huo)技術的(de)(de)(de)發展，人們逐漸發現淬(cui)(cui)冷劑對淬(cui)(cui)火(huo)質量的(de)(de)(de)影響。為(wei)了(le)提高鋼的(de)(de)(de)硬度，淬(cui)(cui)火(huo)工藝遂得到(dao)迅速發展。中國河北省易縣燕下都(dou)出土的(de)(de)(de)兩把(ba)劍和一(yi)把(ba)戟，其顯微組(zu)織(zhi)中都(dou)有馬氏體存在，說(shuo)明是經過(guo)淬(cui)(cui)火(huo)的(de)(de)(de)。同時也注意了(le)油和尿的(de)(de)(de)冷卻能力。但當時作為(wei)個人“手藝”的(de)(de)(de)秘密(mi)，不肯(ken)外傳(chuan)，因而(er)發展很慢(man)。

  1863年(nian)，英(ying)國金(jin)(jin)相學家和(he)地(di)質學家展示了鋼(gang)(gang)鐵(tie)(tie)在(zai)顯微鏡下的(de)六種不同(tong)的(de)金(jin)(jin)相組(zu)織，證明了鋼(gang)(gang)在(zai)加熱和(he)冷(leng)卻時(shi)，內部(bu)會發生組(zu)織改變，鋼(gang)(gang)中高溫時(shi)的(de)相在(zai)急冷(leng)時(shi)轉變為一種較硬的(de)相。法國人(ren)奧斯蒙(meng)德確立的(de)鐵(tie)(tie)的(de)同(tong)素(su)異構(gou)理(li)論，以及英(ying)國人(ren)奧斯汀(ting)較早制定的(de)鐵(tie)(tie)碳相圖，為現代熱處理(li)工(gong)藝(yi)初1889～1890年(nian)英(ying)國人(ren)萊克獲得多(duo)種金(jin)(jin)屬。

   二(er)十世紀以來，金(jin)(jin)屬(shu)(shu)物理(li)(li)的發(fa)展和其他新技術的移(yi)植應用(yong)(yong)，使金(jin)(jin)屬(shu)(shu)熱(re)處理(li)(li)工藝得到(dao)更(geng)大發(fa)展。一個(ge)顯著(zhu)的進展是1901～1925年(nian)，在工業生產中應用(yong)(yong)轉筒爐進xx體滲(shen)(shen)碳(tan)；30年(nian)代出現露(lu)點電位差計，使爐內氣氛的碳(tan)勢(shi)達到(dao)可控(kong)，以后又(you)研究出用(yong)(yong)二(er)氧化(hua)碳(tan)紅外儀、氧探(tan)頭等進一步(bu)控(kong)制爐內氣氛碳(tan)勢(shi)的方法；60年(nian)代，熱(re)處理(li)(li)技術運(yun)用(yong)(yong)了等離子(zi)場的作(zuo)用(yong)(yong)，發(fa)展了離子(zi)滲(shen)(shen)氮(dan)、滲(shen)(shen)碳(tan)工藝 ；激光、電子(zi)束(shu)技術的應用(yong)(yong)，又(you)使金(jin)(jin)屬(shu)(shu)獲得了新的表面熱(re)處理(li)(li)和化(hua)學熱(re)處理(li)(li)方法。